プラズマ処理装置内のプラズマクリーニング方法

Title:

プラズマ処理装置内のプラズマクリーニング方法

Document Type and Number:

Japanese Patent JP3566522

Kind Code:

B2

Inventors:

Hiroyuki Tachibana
Shigeru Tsunoda
Makoto Nawada
Nobuo Tsumaki

Application Number:

JP34756597A

Publication Date:

September 15, 2004

Filing Date:

December 17, 1997

Export Citation:

Assignee:

株式会社日立製作所

International Classes:

B01J19/08; C23C16/50; C23F4/00; H01L21/205; H01L21/302; H01L21/3065; (IPC1-7): H01L21/3065; B01J19/08; C23C16/50

Domestic Patent References:

JP9171999A
JP7335626A

Attorney, Agent or Firm:

Ichiro Suzuki

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