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Title:
ダイヤモンド成長のためのプラズマ成形
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023515564
Kind Code:
A
Abstract:
ダイヤモンドを成長させるシステム。本システムは、マイクロ波チャンバを有する化学気相蒸着反応器を含む。本システムはさらに、チャンバ内に位置決めされるように構成された単結晶シードを含む。本システムはまた、前駆体ガスも含む。マイクロ波源が、前駆体ガスにエネルギーを与えてプラズマプルームを生成するように構成されている。システムの電磁波源が、チャンバ内のプラズマプルームの位置を調整するための、かつ／またはプラズマプルームの形状を調整するための誘導外場を発生させるように構成されている。

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Inventors:
John P. Chiraldo
Jonathan Levine-Miles
Application Number:
JP2022551039A
Publication Date:
April 13, 2023
Filing Date:
February 24, 2021
Export Citation:
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Assignee:
M7D Corporation
International Classes:
C23C16/27; C01B32/26; C23C16/511; C30B29/04; H01L21/31; H01L21/314
Attorney, Agent or Firm:
Einzel Felix-Reinhard
Taku Morita
Junichi Maekawa
Hideo Nagashima
Ueshima class



 
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