Title:
優先電界駆動方向における圧電薄膜素子の分極
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2019522902
Kind Code:
A
Abstract:
第１の電極と、当該第１の電極上に形成された圧電層と、当該圧電層上に形成された第２の電極と、を備える圧電薄膜素子が提供され、当該圧電層を横切って当該第１の電極から当該第２の電極へ分極電界を印加することにより、当該圧電層を分極し、当該第２の電極は当該第１の電極と比較してより低い電位にあり、当該圧電層の双極子を当該第１の電極から当該第２の電極へ双極子方向に配向させ、当該圧電薄膜素子が当該双極子方向とは主として反対の変形方向に変形される場合、当該第２の電極は当該第１の電極と比較してより低い電位にあるように、当該第１の及び第２の電極は構成される。【選択図】図１
Inventors:
Hook michael
Mason silvia
Madilovic Peter
Trojan-McKinstrie Susan
Flaki Dakis hararanpos
Goseong-won
Mason silvia
Madilovic Peter
Trojan-McKinstrie Susan
Flaki Dakis hararanpos
Goseong-won
Application Number:
JP2018567702A
Publication Date:
August 15, 2019
Filing Date:
June 30, 2017
Export Citation:
Assignee:
XAAR TECHNOLOGY LIMITED
International Classes:
H01L41/257; B81B3/00; B81C1/00; H01L41/04; H01L41/047; H01L41/09; H01L41/113; H01L41/187; H01L41/317; H01L41/318
Attorney, Agent or Firm:
Takayuki Hirose
Daisuke Seki
Daisuke Seki