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Title:
研磨方法および研磨装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024048729
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】省電力化や小型化が可能であり、局所的な研磨も行いやすい研磨方法および研磨装置を提供する。【解決手段】本発明の研磨方法は、ベース１０と被研磨物２とを、ベース１０と非接着な研磨素材粒子１を介して接触させつつ、縦波発生手段３０からベース１０に縦波３を供給し研磨素材粒子１を振動させて、被研磨物２の研磨素材粒子１と接触する側の表面２ｓを研磨するものである。また、研磨装置１００は、ベース１０と非接着な研磨素材粒子１を用いて被研磨物２を研磨するものであり、研磨素材粒子１に振動を与えるベース１０と、ベース１０が振動可能な状態でベース１０を保持する保持手段２０と、ベース１０に供給する縦波３を発生させる縦波発生手段３０と、を有する。【選択図】 図２

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Inventors:
Keiyu Suzuki
Souma Yamamoto
Application Number:
JP2022154804A
Publication Date:
April 09, 2024
Filing Date:
September 28, 2022
Export Citation:
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Assignee:
Kyushu Institute of Technology
International Classes:
B24B1/04; B24B37/00; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Toru Nanse
Hisashi Kato
Tomoya Uno



 
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