Title:
研磨システムの保守法及びその関連物品
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023517313
Kind Code:
A
Abstract:
本明細書の実施形態は、ＣＭＰシステム構成要素に疎水性表面を提供するために使用され得る化学的含浸アプリケータ、及び関連する塗布方法に関する。一実施形態では、研磨システム構成要素の表面に疎水性コーティングを形成する方法は、研磨システム構成要素の表面から研磨液残留物を除去するために、研磨システム構成要素の表面を洗浄することと、研磨システム構成要素の表面に、疎水化薬液を塗布することとを含む。【選択図】図２
Inventors:
Gadgil, Shantanu Rajiv
Patanker, Sumit Subash
Davis, Nathan Aron
Coughlin, Michael J.
Dambra, Allen El.
Patanker, Sumit Subash
Davis, Nathan Aron
Coughlin, Michael J.
Dambra, Allen El.
Application Number:
JP2022553576A
Publication Date:
April 25, 2023
Filing Date:
February 10, 2021
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
B24B37/00; B24B37/27; B24B37/34; B24B53/017; B24B55/06; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda & Kobayashi Patent Attorneys Corporation