Title:
研磨システム、及びその使用方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023537084
Kind Code:
A
Abstract:
研磨システムが提示される。システムは、第１の複数の突出部を備える第１の振動構造を含む。システムはまた、第２の複数の突出部を備える第２の振動構造を含む。システムはまた、第１のフィルムに接触する研磨物品を含む。システムはまた、第２のフィルムに結合されたストロークプレートを含む。ストロークプレートが作動されると、第１の複数の突出部と第２の複数の突出部とが、第１の方向に相互連結して、互いに対して滑るように構成されている。
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Inventors:
Tsukio Sato
Application Number:
JP2023509477A
Publication Date:
August 30, 2023
Filing Date:
July 19, 2021
Export Citation:
Assignee:
3M Innovative Properties Company
International Classes:
B24B21/00; B24B1/04; B24B21/06; B24B21/12; B24B27/00; B24D3/00; B24D11/00
Attorney, Agent or Firm:
Ken Fujii
Wakako Nomura
Tsukuda Seigen
Hideto Asamura
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