Title:
再生研磨材スラリーの調製方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5843036
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】使用済み研磨材を含有する回収スラリーから、簡易な方法で高純度の研磨材を回収することができる研磨材の回収方法を提供する。【解決手段】本発明の研磨材の回収方法は、添加目的の異なる複数種の添加剤を含有する研磨材スラリーを用いて、ケイ素を主成分として含む被研磨物を研磨した後、回収した回収研磨材スラリーから、再生研磨材スラリーを調製する再生研磨材スラリーの調製方法であって、前記回収研磨材スラリーから、前記複数の添加剤のうち少なくとも研磨速度低下能を有する添加剤Ｂを除去する工程１と、工程１で調製した添加剤除去済み研磨材スラリーに、前記複数の添加剤のうち少なくとも研磨速度の上昇能を有する添加剤Ａを補充する工程２を経て再生研磨材スラリーを調製することを特徴とする。【選択図】図２
Inventors:
Chie Inui
Akihiro Maezawa
Yuki Nagai
Hirayama Natsumi
Akihiro Maezawa
Yuki Nagai
Hirayama Natsumi
Application Number:
JP2015125258A
Publication Date:
January 13, 2016
Filing Date:
June 23, 2015
Export Citation:
Assignee:
Konica Minolta Co., Ltd.
International Classes:
B24B57/02; B24B55/12; H01L21/304
Domestic Patent References:
| JPWO2013099143A1 | 2015-04-30 | |||
| JP2003197576A | 2003-07-11 | |||
| JP2014217904A | 2014-11-20 | |||
| JP2003197576A | 2003-07-11 | |||
| JP2014217904A | 2014-11-20 | |||
| JPWO2013099143A1 | 2015-04-30 |
Attorney, Agent or Firm:
Gwangyang International Patent Office