Title:
クエン酸の精製のためのプロセス及びシステム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023529174
Kind Code:
A
Abstract:
クエン酸を、２段階濾過プロセスによって金属イオンを除去するように精製する。第１のフィルタを使用して第１の濾過を実施し、次いで、第２のフィルタを使用して、第１の濾過を受けたクエン酸溶液に対して第２の濾過を実施する。第１及び第２のフィルタは、同じフィルタ膜材料を含み得る。第１のフィルタとして使用されるフィルタは、第２のフィルタとして使用されるフィルタと比較して、比較的汚れた、より負荷の高いフィルタであり得る。第１の濾過は、クエン酸溶液を第１のフィルタに通して４時間再循環させることで実施され得、第２の濾過は、クエン酸溶液を第２のフィルタに通しておおよそ２．５時間再循環させることで実施され得る。そのような精製プロセスは、カルシウムイオン及びマグネシウムイオンを除去して、クエン酸を半導体加工における洗浄液として適したものにすることができる。【選択図】図１
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Inventors:
Song, Yushin
Wu, Shanxin
Zhou, Chao
Don, You
Gian Pin
Du, Cheongcheon
Song, Zhicheng
Wu, Shanxin
Zhou, Chao
Don, You
Gian Pin
Du, Cheongcheon
Song, Zhicheng
Application Number:
JP2022574806A
Publication Date:
July 07, 2023
Filing Date:
June 08, 2020
Export Citation:
Assignee:
Entegris Incorporated
International Classes:
C07C51/42; B01D15/00; C07C59/265
Attorney, Agent or Firm:
Sonoda & Kobayashi Patent Attorneys Corporation
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