Title:
被加工物の加工方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024029658
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】基板と基板の表面側に貼着された保護部材とを備える被加工物の加工方法であって、基板の裏面側の研削に伴って基板の裏面側が凹凸形状となることを防止できる被加工物の加工方法を提供する。【解決手段】保護部材を押圧することによって基板の表面側のうち凹部となっている複数のデバイスの境界に保護部材を埋設させるとともに、保護部材を研削して保護部材の表面側を平坦化する。この場合、基板と保護部材との間の隙間をなくす、又は、この隙間を小さくするとともに、保護部材を介して基板を保持するチャックテーブルと保護部材との間の隙間をなくす、又は、この隙間を小さくすることが可能となる。そのため、基板の裏面側の研削に先立ってこれらを実施することによって、基板の裏面側の研削に伴って基板の裏面側が凹凸形状となることを防止できる。【選択図】図６
Inventors:
Minoru Matsuzawa
Kohei Tsujimoto
Yusuke Fujii
Kohei Tsujimoto
Yusuke Fujii
Application Number:
JP2022132033A
Publication Date:
March 06, 2024
Filing Date:
August 22, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/304; B24B7/04; B24B41/06; B24B55/02
Attorney, Agent or Firm:
Akira Matsumoto
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
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