Title:
加工廃液循環装置及び加工廃液循環方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2013054577
Kind Code:
A1
Abstract:
加工液のｐＨ値を所定の範囲内に維持することができる加工廃液循環装置及び加工廃液循環方法を提供する。加工装置１へ加工液を供給し、使用済みの加工液を循環させて加工装置１へ再度供給する。使用済みの加工液のｐＨ値を計測するｐＨ値計測手段２０を有し、ｐＨ値計測手段２０で計測したｐＨ値に応じて、使用済みの加工液に中和剤を供給するか否かを制御する制御手段３０を備える。制御手段３０は、計測したｐＨ値が所定の範囲外である場合には、中和剤を供給する供給指示信号を供給手段２４に送信し、計測したｐＨ値が所定の範囲内である場合には、中和剤の供給を停止する供給停止信号を供給手段２４に送信する。
Inventors:
吉田 努
Application Number:
JP2013538459A
Publication Date:
March 30, 2015
Filing Date:
July 19, 2012
Export Citation:
Assignee:
株式会社村田製作所
International Classes:
B24B57/02; B23Q11/10; B28D5/02; C02F1/66; H01L21/301
Domestic Patent References:
| JP2000157996A | 2000-06-13 | |||
| JPH1157692A | 1999-03-02 | |||
| JPH07169717A | 1995-07-04 | |||
| JP2008251730A | 2008-10-16 |