Title:
加工廃液処理装置及び加工廃液処理方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2013054576
Kind Code:
A1
Abstract:
加工液の導電率を所定の範囲内に維持することができる加工廃液処理装置及び加工廃液処理方法を提供する。加工装置１へ加工液を供給し、使用済みの加工液を加工装置１へ再度供給する。使用済みの加工液をイオン交換するイオン交換手段１８と、使用済みの加工液の循環経路におけるイオン交換手段１８の手前に、前記加工液の導電率を計測する導電率計測手段２０とを有する。制御手段３０は、導電率計測手段２０で計測された導電率が所定範囲内であるか否かを判断し、導電率が所定範囲外であると判断した場合に、イオン交換手段１８への経路を開く指示を送出する。
Inventors:
吉田 努
Application Number:
JP2013538458A
Publication Date:
March 30, 2015
Filing Date:
July 19, 2012
Export Citation:
Assignee:
株式会社村田製作所
International Classes:
B24B55/03; B23Q11/10; B23Q17/00; B24B27/06; B24B57/02; C02F1/42; H01L21/301
Domestic Patent References:
| JP2009214193A | 2009-09-24 | |||
| JP2011041878A | 2011-03-03 | |||
| JPH03212953A | 1991-09-18 | |||
| JPH02256418A | 1990-10-17 | |||
| JPH0112920Y2 | 1989-04-14 |