Title:
感放射線性組成物、パターン形成方法並びに金属含有樹脂及びその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2018123388
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明は、極端紫外線又は電子線露光に用いられ、第１重合体と溶媒とを含有する感放射線性組成物であって、上記第１重合体が、１又は複数の金属原子と、この金属原子に化学結合により結合している炭素原子であって不飽和結合を構成していない炭素原子とを含む第１構造単位を有し、上記化学結合のうちの少なくとも１つが共有結合であることを特徴とする。上記化学結合の全てが共有結合であることが好ましい。上記金属原子は、スズ、ゲルマニウム、鉛又はこれらの組み合わせであることが好ましい。
Inventors:
Yusuke Asano
K. Nakagawa
Shinya Minegishi
K. Nakagawa
Shinya Minegishi
Application Number:
JP2018558918A
Publication Date:
October 31, 2019
Filing Date:
November 27, 2017
Export Citation:
Assignee:
JSR CORPORATION
International Classes:
G03F7/038; C08F30/04; C08G79/00; G03F7/004; G03F7/039; G03F7/20; G03F7/32
Attorney, Agent or Firm:
Hajime Amano