Title:
共振器デバイス
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022525814
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、少なくとも２つの共振器を含む応力を測定するための共振器デバイスであって、各共振器は、圧電基板上又は内の２つの反射構造の間に配置されたインターデジタル変換器構造を含む、共振器デバイスにおいて、少なくとも２つの共振器は、２つの異なる波の伝搬方向を有するように配置及び位置付けされ、各共振器は、空洞を形成する少なくとも２つの共振器の２つの部分の間の領域を有する少なくとも２つの部分を含み、空洞は少なくとも２つの共振器によって共有されることを特徴とする、共振器デバイスに関する。本発明はまた、前述のような少なくとも１つの共振器デバイスを含む差動感知デバイスに関する。【選択図】 図２ａ
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Inventors:
Ballandras, Sylvain
Crujon, Emily
Bernard, Florent
Raveski, Alexander
Crujon, Emily
Bernard, Florent
Raveski, Alexander
Application Number:
JP2021557480A
Publication Date:
May 19, 2022
Filing Date:
March 19, 2020
Export Citation:
Assignee:
Frequensis
International Classes:
H03H9/25
Domestic Patent References:
| JP2008524590A | 2008-07-10 | |||
| JP2016195359A | 2016-11-17 | |||
| JP2005505775A | 2005-02-24 | |||
| JP2011501158A | 2011-01-06 |
Foreign References:
| DE10054198A1 | 2001-09-13 | |||
| US20070028700A1 | 2007-02-08 | |||
| US20070296305A1 | 2007-12-27 | |||
| CN103066945A | 2013-04-24 |
Attorney, Agent or Firm:
Ikeda Adult
Junichiro Sakamaki
Masakazu Noda
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