Title:
ターボ分子ポンプ用のロータ組立体
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023553342
Kind Code:
A
Abstract:
本開示は、ターボ分子ポンプ１００用のロータ組立体１０２に関する。ロータ組立体１０２は、ロータシャフト１１６と、ロータシャフト１１６から延びる複数のロータブレード１２６と、ロータシャフト１１６内に締まり嵌めにより嵌合されるバランス部材１３０とを備える。ロータシャフト１１６は、ロータ組立体１０２がその周りを回転するように構成された長手方向軸１２２に沿って延びている。締まり嵌めは、バランス部材１３０がロータ組立体１０２によって圧縮状態で保持されるようなものである。本開示はまた、ロータ組立体１０２を含むターボ分子ポンプ１００、及びターボ分子ポンプ１００用のロータ組立体１０２を組み立てる方法に関する。【選択図】 図１
Inventors:
Haller Richard Glynn
Kubis Ares
student david
Kubis Ares
student david
Application Number:
JP2023532176A
Publication Date:
December 21, 2023
Filing Date:
November 23, 2021
Export Citation:
Assignee:
Edwards S.L.O.
International Classes:
F04D19/04
Attorney, Agent or Firm:
Shinichiro Tanaka
▲吉▼田 和彦
Hiroyuki Suda
Ichiro Kurasawa
Yasushi Yamamoto
Hiroko Suzuki
Masahiro Kamigataguchi
▲吉▼田 和彦
Hiroyuki Suda
Ichiro Kurasawa
Yasushi Yamamoto
Hiroko Suzuki
Masahiro Kamigataguchi