Title:
走査アンテナ及び走査アンテナの製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024027247
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】信頼性が高い走査アンテナを提供する。【解決手段】基材と、基材上に設けられる金属配線と、基材上に設けられ、少なくとも一部が金属配線上に重なり金属配線に接続される無機酸化物配線と、を有し、無機酸化物配線の厚さが、２００ｎｍ以上であり、無機酸化物配線の配線抵抗値が、５０ｋΩ以上２００ｋΩ以下である、走査アンテナ。【選択図】図１
Inventors:
Junichi Watanabe
Rei Tamura
Rei Tamura
Application Number:
JP2022129884A
Publication Date:
March 01, 2024
Filing Date:
August 17, 2022
Export Citation:
Assignee:
TOPPAN Holdings Co., Ltd.
International Classes:
H05K1/09; H01P11/00
Attorney, Agent or Firm:
Yasushi Matsunuma
Shiro Suzuki
Yuichiro Shimizu
Makiko Otsuki
Shiro Suzuki
Yuichiro Shimizu
Makiko Otsuki