Title:
封止されたＭＥＭＳスイッチング素子、装置、及び、製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024512349
Kind Code:
A
Abstract:
微小電気機械スイッチング素子(1)が提案されている。これは、-支持層として機能する第１の層(110)と、電気絶縁性の第２の層(120)と、半導体層として構成される第３の層(130)とを備える１つの多層支持基板(100)と、-半導体層(130)の解放された部分領域によって形成された、偏位可能な１つの曲げ要素(135)と、-支持基板(100)に接続された1つのカバー基板(200)とを備えており、ここで、支持基板(100)、特にその支持層(110)、が曲げ要素(135)の領域に１つの凹部(150)を備え、ここで、カバー基板(200)が同様に曲げ要素(135)の領域に１つの凹部(250)及び/又は周回する１つのスペーサ層(260)を備え、その結果、全体として１つの上位の中空空間(350)が形成され、その中に前記曲げ要素(135)が偏位可能なように配置されており、ここで、上位の中空空間(350)は、外部環境に対して気密に封止されるような方法で、支持層(110)によって、及び、カバー基板(200)によって区画されている。
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Inventors:
Raab, Oliver
Santos Wilke, Hans
Schwarz, Marx
Zapf, Jörg
Santos Wilke, Hans
Schwarz, Marx
Zapf, Jörg
Application Number:
JP2023553950A
Publication Date:
March 19, 2024
Filing Date:
February 21, 2022
Export Citation:
Assignee:
Siemens Aktiengesellschaft
International Classes:
H01H59/00; B81B3/00; B81C1/00; H01H49/00
Attorney, Agent or Firm:
Yamaguchi & Takemoto Intellectual Property Office
Iwao Yamaguchi
Hiroshi Yamamoto
Mina Takemoto
Iwao Yamaguchi
Hiroshi Yamamoto
Mina Takemoto