Title:
ホットプレスにより形成された焼結セラミック保護層
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2020511388
Kind Code:
A
Abstract:
本明細書では、ホットプレスにより層状セラミック材料を製造する方法が開示されている。方法は、粉末成形体又はセラミック・スラリーを物品の表面に配置する工程を含み、ここで、物品は処理チャンバのチャンバ構成要素である。粉末成形体又はセラミック・スラリーは、物品の表面に対してホットプレスされる。そのために、物品及び粉末成形体又はセラミック・スラリーを加熱し、１５〜１００メガパスカルの圧力を加える。ホットプレスは、粉末成形体又はセラミック・スラリーを焼結セラミック保護層へと焼結させ、焼結セラミック保護層を物品の表面に結合させる。
Inventors:
San Jennifer Wye
Jang Guo Dong
Fenwick david
Rice Michael Earl
Jang Guo Dong
Fenwick david
Rice Michael Earl
Application Number:
JP2019548384A
Publication Date:
April 16, 2020
Filing Date:
March 02, 2018
Export Citation:
Assignee:
APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
International Classes:
C04B41/87; B32B18/00; C04B37/00; H01L21/683
Attorney, Agent or Firm:
Yoshiaki Anzai