Title:
電子光学システム内の清浄環境を提供するためのシステム及び方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2018520466
Kind Code:
A
Abstract:
汚染物質材料を抽出器に近接した空洞から吸収できる、電子源の電子抽出器が開示される。電子抽出器は、本体を含む。電子抽出器の本体は、１つ又は複数の非蒸発型吸着体材料から形成されている。１つ又は複数の非蒸発型吸着体材料は、電子抽出器の本体に近接した領域内に含まれる１つ又は複数の汚染物質を吸収する。電子抽出器の本体は、電子抽出器の本体に近接して置かれた１つ又は複数の放出器から電子を抽出するように更に構成されている。
Inventors:
Schulz William
Delgado Hildardo
Rose garry
Delgado Hildardo
Rose garry
Application Number:
JP2017561622A
Publication Date:
July 26, 2018
Filing Date:
May 26, 2016
Export Citation:
Assignee:
KLA-Tenker Corporation
International Classes:
H01J37/18; H01J7/18; H01J37/06; H01J37/065; H01J37/147; H01J37/21; H01J37/244; H01J37/28
Domestic Patent References:
| JP2006294481A | 2006-10-26 | |||
| JPS5255856A | 1977-05-07 | |||
| JPS5172278A | 1976-06-22 | |||
| JP2003308776A | 2003-10-31 | |||
| JP2001210225A | 2001-08-03 | |||
| JPH08153460A | 1996-06-11 | |||
| JP2004063177A | 2004-02-26 | |||
| JP2003242914A | 2003-08-29 |
Foreign References:
| WO2010146833A1 | 2010-12-23 | |||
| US20080284332A1 | 2008-11-20 | |||
| WO2013169825A1 | 2013-11-14 |
Attorney, Agent or Firm:
Patent Corporation yki International Patent Office