Title:
試験プローブ清浄化材料
Document Type and Number:
Japanese Patent JP5627354
Kind Code:
B2
Abstract:
A medium for predictably cleaning the contact elements (13) and support hardware of a tester interface (12), such as a probe card and a test socket, while it is still in manual, semi-automated, and automated handling device (16) and the electrical test equipment (10) is disclosed so that the functionality and performance of the individual die or IC package (15) may be electrically evaluated.
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Inventors:
ジェリー ジェイ ブロス
ブレット エイ ハンフリー
アラン イー ハンフリー
ジェイムス エイチ デュヴァル
ブレット エイ ハンフリー
アラン イー ハンフリー
ジェイムス エイチ デュヴァル
Application Number:
JP2010195329A
Publication Date:
November 19, 2014
Filing Date:
September 01, 2010
Export Citation:
Assignee:
インターナショナル テスト ソリューションズ インコーポレイテッド
International Classes:
G01R1/073; H01L21/66
Attorney, Agent or Firm:
辻居 Koichi
Sadao Kumakura
Fumiaki Otsuka
Takayoshi Nishijima
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
Sadao Kumakura
Fumiaki Otsuka
Takayoshi Nishijima
Hiroyuki Suda
Hiroshi Uesugi
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