Title:
【発明の名称】マイクロメカニカル磁気デバイス及びその製法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2660136
Kind Code:
B2
Abstract:
Micromechanical devices are formed on a substrate using a sacrificial layer deep X-ray lithography process to produce a rotating microrotor which is driven magnetically. The rotor typically has a diameter of a few hundred microns or less and is formed as a free structure which is assembled onto a hub formed on a substrate. Stator pole pieces are formed on the substrate of a ferromagnetic material surrounding the rotor, and are also preferably formed by a deep X-ray lithography process followed by electroplating of a ferromagnetic material such as nickel. The stator pole pieces are supplied with magnetic flux, such as from a current flowing through a conductor surrounding the magnetic pole pieces which is integrated with the pole pieces on the substrate. Separate electromagnets can also be utilized to provide the magnetic flux to the pole pieces to provide a rotating magnetic field in the region of the rotor to drive the rotor.
Inventors:
HENRII GUTSUKERU
TOTSUDO AARU KURISUTENSON
KENISU JEI SUKUROBISU
TOTSUDO AARU KURISUTENSON
KENISU JEI SUKUROBISU
Application Number:
JP16564692A
Publication Date:
October 08, 1997
Filing Date:
June 24, 1992
Export Citation:
Assignee:
UISUKONSHIN ARAMUNI RISAACHI FUAUNDEESHON
International Classes:
H02K29/00; B81B5/00; B81C1/00; G03F7/00; H02K15/02; H02K15/08; H02K19/10; H02K21/14; H02K49/06; H02N11/00; (IPC1-7): H02K19/10
Other References:
応用物理 ｖｏ６０、ｎｏ３（１９９１．３．１０、応用物理学会発行）ｐ．２２７−２３８「マイクロマシン」（江刺正喜著）
機械設計 ｖｏ３５、ｎｏ１４（１９９１．１１、日刊工業新聞社発行）Ｐ．３５−４１「特集マイクロマシン潮流を探る マイクロモータ技術その現状と課題」（Ｍｅｈｒａｎ Ｍｅｈｒｅｇｎａｎｙ著）
機械設計 ｖｏ３５、ｎｏ６（１９９１．５、日刊工業新聞社発行）ｐ．２９−３６「特集活発化するマイクロマシーンＭＥＭＳからのアプローチ 単結晶シリコンマイクロモータの試作」（鈴木健一郎著）
電子情報通信学会誌 ｖｏ７３、ｎｏ１２（１９９０．１２、電子情報通信学会）ｐ．１３２８−１３３０「マイクロメカトロニクス ＩＣ技術による微小な機械」（藤田博之著）
機械設計 ｖｏ３５、ｎｏ１４（１９９１．１１、日刊工業新聞社発行）Ｐ．３５−４１「特集マイクロマシン潮流を探る マイクロモータ技術その現状と課題」（Ｍｅｈｒａｎ Ｍｅｈｒｅｇｎａｎｙ著）
機械設計 ｖｏ３５、ｎｏ６（１９９１．５、日刊工業新聞社発行）ｐ．２９−３６「特集活発化するマイクロマシーンＭＥＭＳからのアプローチ 単結晶シリコンマイクロモータの試作」（鈴木健一郎著）
電子情報通信学会誌 ｖｏ７３、ｎｏ１２（１９９０．１２、電子情報通信学会）ｐ．１３２８−１３３０「マイクロメカトロニクス ＩＣ技術による微小な機械」（藤田博之著）
Attorney, Agent or Firm:
Minoru Nakamura (6 outside)