Title:
【発明の名称】露光装置及びこれを用いたレイアウトデータの作成方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3057580
Kind Code:
B2
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Inventors:
Takeo Moriyama
Application Number:
JP5651691A
Publication Date:
June 26, 2000
Filing Date:
March 20, 1991
Export Citation:
Assignee:
富士通株式会社
富士通ヴィエルエスアイ株式会社
富士通ヴィエルエスアイ株式会社
International Classes:
G03F1/76; G03F7/20; H01L21/027; H01L21/30; (IPC1-7): G03F1/08; G03F7/20; H01L21/027
Domestic Patent References:
| JP5997145A | ||||
| JP6030194A | ||||
| JP63115169A | ||||
| JP63164488A | ||||
| JP6459830A |
Attorney, Agent or Firm:
Aoki Akira (3 outside)