Title:
超音波センサの製造方法、超音波センサ、及び、超音波流量計
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024045798
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】従来に対し、計測時に熱履歴が加えられる場合であっても、計測精度の低下を抑制可能とする。【解決手段】圧電素子１０２１及び金属振動板１０２３並びに音響整合層１０２２及び当該金属振動板１０２３が接着剤により接着された超音波センサ１０２に対し、当該超音波センサ１０２の運用前に、当該接着部分での変形又は当該変形に伴う当該接着剤との部分的な剥離を発生させる応力緩和処理を有する。【選択図】図５
Inventors:
Takeshi Yasunaga
Taiga Harada
Taiga Harada
Application Number:
JP2022150783A
Publication Date:
April 03, 2024
Filing Date:
September 22, 2022
Export Citation:
Assignee:
Azbil Corporation
International Classes:
G01F1/667; H04R17/00; H04R31/00
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Sanno Naigai Patent Office