Title:
Un-parallel island etching
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2016537207
Kind Code:
A
Abstract:
エッチングアイランドが、基板の第１の面と、該第１の面に非平行な該基板の第２の面に形成される。該基板の該第１の面及び該第２の面は、該エッチングアイランドと反応する溶液に同時にさらされて、該第１の面内及び該第２の面内へと延在する多孔質領域を同時に形成する。【選択図】図１
Inventors:
McKay, Roger, A
Sadik, patrick, w
Sadik, patrick, w
Application Number:
JP2016525973A
Publication Date:
December 01, 2016
Filing Date:
October 30, 2013
Export Citation:
Assignee:
Hewlett-Packard Development Company
Hewlett-Packard Development Company, L.P.
Hewlett-Packard Development Company, L.P.
International Classes:
B81C1/00; B01D39/16; B01D39/20; C23F1/00
Domestic Patent References:
| JP2004165781A | 2004-06-10 | |||
| JP4049329B2 | 2008-02-20 |
Foreign References:
| WO2013093504A2 | 2013-06-27 | |||
| US20100248449A1 | 2010-09-30 | |||
| US20110316145A1 | 2011-12-29 |
Attorney, Agent or Firm:
Satoshi Furuya
Akihiro Onishi
Kiyoharu Nishiyama
Rei Hosoi
Akihiro Onishi
Kiyoharu Nishiyama
Rei Hosoi