Login| Sign Up| Help| Contact|

Patent Searching and Data


Title:
真空ポンプシステム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2020501079
Kind Code:
A
Abstract:
半導体加工アセンブリにおいて使用される真空ポンプシステム（１０）が、第１の入口（１４）及び第１の出口（１６）を有する第１のポンプ（１２）を含む。第１の入口（１４）は、第１の共通ポンプライン（１８）に流体的に接続される。第１の共通ポンプライン（１８）は、半導体加工ツール（２８）を形成するプロセスチャンバ群（２６）内の少なくとも１つのプロセスチャンバ（２４）にそれぞれが流体的に接続できる複数の第１のポンプライン入口（２０）を含む。真空ポンプシステム（１０）は、予備入口（３２）及び予備出口（３４）を有する予備ポンプ（３０）も含む。予備入口（３２）は、半導体加工ツール（２８）を形成するプロセスチャンバ群（２６）内の各プロセスチャンバ（２４）に選択的に流体的に接続される。真空ポンプシステム（１０）は、ポンプ（１２）を１又は２以上の所与のプロセスチャンバ（２４）から選択的に流体的に隔離し、予備ポンプ（３０）を上記１又は２以上の所与のプロセスチャンバ（２４）に選択的に流体的に接続するように構成されたコントローラをさらに含む。【選択図】図１

More Like This:
JP6449551Vacuum pump control device and vacuum pump equipped with this
JP4869248Vacuum pump failure prediction method, vacuum pump failure prediction system, and vacuum pump centralized monitoring system
Inventors:
Galtry Michael
Bailey christopher mark
Application Number:
JP2019548776A
Publication Date:
January 16, 2020
Filing Date:
November 23, 2017
Export Citation:
Click for automatic bibliography generation   Help
Assignee:
Edwards Limited
International Classes:
F04B37/16
Domestic Patent References:
JP2016183576A2016-10-20
JP2015227618A2015-12-17
Foreign References:
WO2016110694A12016-07-14
Attorney, Agent or Firm:
Shinichiro Tanaka
▲吉▼田 和彦
Hiroyuki Suda
Mitsuru Matsushita
Ichiro Kurasawa
Yasushi Yamamoto
Kazushige Tanzawa



 
Previous Patent: ディーゼル燃料を内燃機関に圧送するためのポンピング群のフィルタの目...

Next Patent: カムシャフトアジャスター用ローターのローター部品、及びその製造用プ...