Title:
診断回路を有する真空システム及びそのような真空システムの健全性をモニタする方法及びコンピュータプログラム
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022540407
Kind Code:
A
Abstract:
少なくとも１つのクライオポンプと、クライオポンプの作動条件を感知するように各々が構成されてクライオポンプに関連付けられた複数のセンサと、センサからサンプリングされた信号を受信するように構成された診断回路とを含み、診断回路を備えた真空システム、そのような真空システムの健全性をモニタする方法及びコンピュータプログラム。診断回路は、クライオポンプの診断モデルを含み、診断モデルは、複数の再生及び修理期間にわたって作動する同じタイプの複数のクライオポンプの履歴データから導出され、かつ少なくとも一部のセンサからサンプリングされた信号の値を予め決められた時間内のポンプ故障の確率に関連付けるように構成される。診断回路は、サンプリングされた信号を診断モデルに適用し、かつモデルの出力から予め決められた時間内の少なくとも１つのクライオポンプ故障の確率を決定するように構成される。【選択図】図１
Inventors:
Gordon Derrick
Melkort Rajesh
Longley Andrew Ellis
nordquist john peter
Melkort Rajesh
Longley Andrew Ellis
nordquist john peter
Application Number:
JP2022500536A
Publication Date:
September 15, 2022
Filing Date:
July 07, 2020
Export Citation:
Assignee:
Edwards Vacuum Limited Liability Company
International Classes:
F04D19/04; F04B51/00; G01M99/00
Attorney, Agent or Firm:
Shinichiro Tanaka
Yoshi Kazuhiko Ta
Hiroyuki Suda
Ichiro Kurasawa
Yasushi Yamamoto
Hiroko Suzuki
Kosuke Yamamoto
Yoshi Kazuhiko Ta
Hiroyuki Suda
Ichiro Kurasawa
Yasushi Yamamoto
Hiroko Suzuki
Kosuke Yamamoto