Title:
真空バルブおよび真空ドア
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023504977
Kind Code:
A
Abstract:
壁部（３、３２）に対して閉塞プレート（７）を封止または密封するためのシールユニット（１２）が設けられている。シールユニット（１２）が支持フレーム（１３）を備えている。支持フレーム（１３）が、相互に対向する第１縦梁部（１４）および第２縦梁部（１５）、ならびに、これらよりも短く相互に対向する第１横梁部（１６）および第２横梁部（１７）を有し、かつ、一方側に環状の閉塞プレートシール部材（１８）が取り付けられ、他方側に環状の壁部シール部材（１９）が取り付けられている。支持フレーム（１３）が壁部（３、３２）の固定箇所に対して固定されているまたは固定可能であり、支持フレーム（１３）の第１縦梁部（１４）および第２縦梁部（１５）が少なくとも中間部分において壁部（３、３２）に対して自由である。【選択図】 図２
Inventors:
Marc Huebener
Artur Bucher
Markus Popperer
Artur Bucher
Markus Popperer
Application Number:
JP2022520939A
Publication Date:
February 08, 2023
Filing Date:
December 03, 2020
Export Citation:
Assignee:
Bat holding arg
International Classes:
F16K51/02
Attorney, Agent or Firm:
Creation International Patent Office
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