Title:
リアクタンス可変回路および当該回路を備えたインピーダンス整合装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP7412048
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】コンパクトな構成で高電圧の通電が可能で、インピーダンスの整合が高速で行えるインピーダンス整合装置を提供する。【解決手段】インピーダンス整合装置はリアクタンス可変回路を備える。リアクタンス可変回路は、主線路２と、主線路に疎結合した副線路３を含む疎結合線路部４と、副線路及びグランド５間に設けられた容量可変部６を備える。副線路の一端３ａはグランドに接続される。容量可変部は、副線路の他端３ｂ及びグランド５間に接続されたダイオード７と、副線路３の当該他端及びダイオード間においてダイオードに直列接続されたコンデンサ８と、コンデンサ及びダイオード間の接続点９とグランド５との間に接続され、ダイオードに逆バイアス電圧を印加する可変直流電源１１と、当該接続点及びグランド間において、可変直流電源に直列接続された抵抗１０を有する。【選択図】図１
Inventors:
Etsuro Kawata
Application Number:
JP2023077933A
Publication Date:
January 12, 2024
Filing Date:
May 10, 2023
Export Citation:
Assignee:
Adtec Plasma Technology Co., Ltd.
International Classes:
H01P5/18; H03H11/30; H05H1/46
Domestic Patent References:
| JP4112525U | ||||
| JP2011250354A | ||||
| JP5082101U |
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Minori Patent Office