Title:
振動子、ＭＥＭＳ発振器、及び振動子の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024021067
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】シリコンの様々な特性を最適に組み合わせることで、温度変化による共振特性の変化が少ない、シリコン振動子、およびこれを備えたＭＥＭＳ発振器を提供する。【解決手段】シリコンの不純物の濃度、不純物の種類、シリコンの寸法、形状、シリコンの結晶面方位に対する向き、および振動子の振動モードのうち、少なくともいずれか１つの要素を含む第１の周波数温度特性の第１領域と第２の周波数温度特性の第２領域とを有し、第１の周波数温度特性と第２の周波数温度特性とは、任意の温度に対して＋５０℃～－５０℃の温度範囲で互いに打ち消される温度特性を有し、第１の周波数温度特性の第１領域と第２の周波数温度特性の第２領域とを組み合わせることで、前記温度範囲で振動子の周波数温度特性の変化が２５０ｐｐｍ以下となるようにした。【選択図】図１
Inventors:
Shunsuke Yamada
Hideharu Tanaka
Hideharu Tanaka
Application Number:
JP2023124982A
Publication Date:
February 15, 2024
Filing Date:
July 31, 2023
Export Citation:
Assignee:
Tohoku University
International Classes:
H03H9/24; B81B3/00; B81C1/00; H01L29/84; H03H3/013; H03H9/02
Attorney, Agent or Firm:
田▲崎▼ 聡
Masato Iida
Junichi Kobayashi
Yuichiro Kawagoe
Hirotaka Haruta
Masato Iida
Junichi Kobayashi
Yuichiro Kawagoe
Hirotaka Haruta
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