ビューウィングウィンドのクリーニング用装置

Title:

ビューウィングウィンドのクリーニング用装置

Document Type and Number:

Japanese Patent JP2006514157

Kind Code:

A

Inventors:

Fink, Stephen Tea.

Application Number:

JP2004537684A

Publication Date:

April 27, 2006

Filing Date:

September 22, 2003

Export Citation:

Assignee:

東京エレクトロン株式会社

International Classes:

C23C16/44; B01J19/08; B08B7/00

Domestic Patent References:

Attorney, Agent or Firm:

Takehiko Suzue
Satoshi Kono
Makoto Nakamura
Sadao Muramatsu
Ryo Hashimoto

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