Title:
ウェハ研磨装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP3230529
Kind Code:
U
Abstract:
【課題】支持軸と定盤との固定部におけるネジ部のかじりの発生に起因して支持軸等が再利用できなくなる課題と、装置の稼働中に支持軸が定盤から緩んでくる課題との解決が可能なウェハ研磨装置を提供する。【解決手段】ウェハ研磨装置は、保持プレートに貼付されたウェハを、公転する定盤１０に摺接させて研磨を行う装置であって、定盤１０の中心に立設される支持軸４０と、支持軸４０によって回転可能に支持されて保持プレートに自転力を付与するセンターローラ５４と、センターローラ５４を回転駆動する駆動軸４８とを備え、支持軸４０の下端部４０ａに設けられた外周面に雄ネジ部の無い嵌合突起４２を、定盤１０の中心に設けられた内周面に雌ネジ部の無い嵌合溝１２に対して嵌合させた状態で、支持軸４０の周壁部に挿通させたボルト６０を定盤１０に締結させる構成によって、支持軸４０が定盤１０に回動不能に連結されている。【選択図】図３
More Like This:
| JP4739808 | Polishing equipment |
| JPS619249 | [Title of the device] Buffing device |
| JP3810640 | WORK CLAMPING METHOD AND DEVICE FOR GRINDING MACHINE |
Inventors:
Kazuyuki Furuya
Application Number:
JP2020004990U
Publication Date:
February 04, 2021
Filing Date:
November 19, 2020
Export Citation:
Assignee:
Fujikoshi Machine Industry Co., Ltd.
International Classes:
B24B47/12
Attorney, Agent or Firm:
Watanuki International Patent and Trademark Office