Title:
Work processing device and manufacturing method of processed work
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6322746
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】キャリアガス不要で比較的大流量の気化対象液体を気化させる気化装置、ワーク処理装置及び処理済ワークの製造方法を提供する。【解決手段】気化装置1は、気化対象液体Fqよりも所定の比で熱容量が大きい蓄熱体11を含む気化部10と、気化部10に熱を供給する熱供給器20とを備え、所定の比は、気化対象液体Fqを蓄熱体流路12に流して気化対象液体Fqを予定した割合で気化させたときに必要な熱量が蓄熱体11から気化対象液体Fqに伝達されたときに蓄熱体11の温度低下があらかじめ決められた範囲内となる熱容量の比である。ワーク処理装置100は、気化装置1と、チャンバ5と、チャンバ5の内部を負圧にする真空ポンプ6とを備える。処理済ワークの製造方法は、チャンバ5内にワークWを搬入し、気化装置1で生成された処理ガスFgをチャンバ5内に供給し、チャンバ5内の処理ガスFgの雰囲気下でワークWに所定の処理を施す。【選択図】図1
Inventors:
Jun Matsuda
Tatsuo Okubo
Naoto Ozawa
Tatsuo Okubo
Naoto Ozawa
Application Number:
JP2017068056A
Publication Date:
May 09, 2018
Filing Date:
March 30, 2017
Export Citation:
Assignee:
Origin Electric Co., Ltd.
International Classes:
F28D20/00; B23K1/008; B23K3/08; B23K31/02
Domestic Patent References:
JPH10218134A | 1998-08-18 | |||
JPH102616A | 1998-01-06 | |||
JP2015112603A | 2015-06-22 | |||
JPH10218134A | 1998-08-18 | |||
JPH102616A | 1998-01-06 | |||
JP2015112603A | 2015-06-22 | |||
JPS59108632U | 1984-07-21 | |||
JPH08334266A | 1996-12-17 |
Foreign References:
WO2010099861A1 | 2010-09-10 | |||
US5318101A | 1994-06-07 |
Attorney, Agent or Firm:
Sadaji Miyakawa
Toshiyuki Kanai
Kayoko Miyoko
Shigeo Shibata
Toshiyuki Kanai
Kayoko Miyoko
Shigeo Shibata
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