自動交換装置 - Disco Co., Ltd.

Title:

自動交換装置

Document Type and Number:

Japanese Patent JP2024019804

Kind Code:

A

Abstract:

【課題】稼働率を向上可能な自動交換装置を提供する。【解決手段】自動交換装置２は、複数の切削ブレード３６を保管する切削ブレード保管手段４と、切削ブレード保管手段４から搬出した切削ブレード３６を切削装置の切削手段まで搬送するとともに切削装置の切削手段から離脱した切削ブレード３６を搬入する搬出入手段６と、制御手段７と、切削装置まで移動するための移動手段８とを含む。【選択図】図１

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Inventors:

Ryo Kondo
Terashi Kentaro
Takudo Onnaya
Shintaro Matsuoka

Application Number:

JP2022122490A

Publication Date:

February 14, 2024

Filing Date:

August 01, 2022

Export Citation:

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Assignee:

Disco Co., Ltd.

International Classes:

B24B45/00; B23Q3/155; B24B27/06; H01L21/301

Attorney, Agent or Firm:

Sachiko Okunuki
Tsuyoshi Tsukano
Yoshifumi Kaneko

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