基板液処理装置及び基板液処理方法並びに基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体

Title:

基板液処理装置及び基板液処理方法並びに基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体

Document Type and Number:

Japanese Patent JP6552687

Kind Code:

B2

Inventors:

Hideaki Sato
Takezo Sato

Application Number:

JP2018129797A

Publication Date:

July 31, 2019

Filing Date:

July 09, 2018

Export Citation:

Assignee:

東京エレクトロン株式会社

International Classes:

H01L21/306; H01L21/304

Domestic Patent References:

Attorney, Agent or Firm:

Mihiro Uchino

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