Title:
切削装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024027260
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】切削屑を含む切削液が被加工物に付着することを防止する切削装置を提供する。【解決手段】被加工物（１）を保持面（１３）に保持する保持テーブル（１２）と、回転可能な切削ブレード（５３）と、切削ブレードが被加工物に切り込む加工点（Ｋ）に切削液（Ｍ）を供給する切削液供給ノズル（５５、５６）と、保持テーブルを加工送り方向（Ｘ）に移動させる移動ユニット（２０）と、加工点から加工送り方向後方（Ｘｂ）に被加工物の上面（２）を覆うように隙間を設けると共に切削ブレードに隣接して配設されるカバープレート（７０）と、カバープレートの下面に形成された液体供給孔（８１）から液体（Ｐ）を供給して、カバープレートの下面と被加工物の上面との間に液体の層（ＰＳ）を形成する液体供給ユニット（８０）と、を備える。【選択図】図２
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Inventors:
Mikami Public University
Application Number:
JP2022129916A
Publication Date:
March 01, 2024
Filing Date:
August 17, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B24B55/06; B23Q11/00; B23Q11/10; B24B27/06; B24B55/02; H01L21/301
Attorney, Agent or Firm:
Infot Patent Attorney Corporation
Hiroyoshi Aoki
Masayuki Amada
Hiroyoshi Aoki
Masayuki Amada
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