Title:
切削装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024032131
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】切削屑がデバイスへ付着することを防止すると共に、電極が酸化して錆びることを防止することができる切削装置を提供する。【解決手段】電極を備えたデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に複数形成された被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に備えた切削手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にＸ軸方向に切削送りするＸ軸送り手段と、該チャックテーブルと該切削手段とを相対的にＸ軸方向に直交するＹ軸方向に割り出し送りするＹ軸送り手段と、を含み構成される切削装置であって、該切削手段に隣接して配設され、切削ブレードと被加工物との接触点に切削液を供給する切削液供給ノズルと、被加工物の幅を超える長さをＹ軸方向に有し、デバイスに形成された電極が錆びないように防錆剤を供給する防錆剤供給ノズルと、を備える。【選択図】図４
Inventors:
Kenji Takenouchi
Application Number:
JP2022135611A
Publication Date:
March 12, 2024
Filing Date:
August 29, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/301; B24B55/00; B24B55/02
Attorney, Agent or Firm:
Sachiko Okunuki
Tsuyoshi Tsukano
Yoshifumi Kaneko
Tsuyoshi Tsukano
Yoshifumi Kaneko