Title:
切削装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024053985
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】切削装置における切削水噴射ノズルの位置を記録して所望の位置からズレていることをいち早く検知することで、品質管理を容易にするとともに切削不良を低減できる切削装置を提供すること。【解決手段】切削装置１は、切削ユニット２０と、制御ユニット７０と、切削ユニット２０の切削水噴射ノズル２６と切削ブレード２１との撮像画像を形成する撮像ユニット１１０と、撮像ユニット１１０をこの撮像画像を撮像する撮像位置に位置付ける位置付け手段１２０と、を備える。制御ユニット７０は、撮像ユニット１１０が撮像した撮像画像を記憶する記憶部７１と、この撮像画像と予め記憶部７１に記憶しておいた基準画像との間に所定以上の差異があるか否かを判定する判定部７２と、判定部７２にて所定以上の差異があると判定した場合に報知する報知部７３と、を備える。【選択図】図１
Inventors:
Satoshi Hanashima
Application Number:
JP2022160540A
Publication Date:
April 16, 2024
Filing Date:
October 04, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B24B49/12; B24B27/06; B24B45/00; B24B55/02; H01L21/301
Attorney, Agent or Firm:
Sakai International Patent Office
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