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Title:
An electric field radiation device and a property modification disposal method
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6206546
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】エミッタの電界放射を抑制しながらガード電極等の改質処理を行うことができ、電界放射装置の特性の向上に貢献する。【解決手段】真空室１においてエミッタ３およびターゲット７を互いに対向して配置し、エミッタ３の電子発生部３１の外周側には、ガード電極５を備える。エミッタ３は、真空室１の両端方向に移動自在な移動体４０を有したエミッタ支持部４により、当該両端方向に対し移動自在に支持する。ガード電極５の改質処理は、エミッタ支持部４を操作し、エミッタ３を無放電位置に移動して、電子発生部３１の電界放射を抑制した状態にし、ガード電極５に電圧を印加し放電を繰り返して行う。改質処理の後は、再びエミッタ支持部４を操作し、エミッタ３を放電位置に移動し、移動規制部６により移動体４０の真空室１の他端側への移動を規制した状態で、電子発生部３１の電界放射を可能な状態にする。【選択図】図１

Inventors:
Takahashi Taizo
Hatanaka Nakadai
Application Number:
JP2016124149A
Publication Date:
October 04, 2017
Filing Date:
June 23, 2016
Export Citation:
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Assignee:
KABUSHIKI KAISHA MEIDENSHA
International Classes:
H01J35/06; H01J1/304; H05G1/00
Domestic Patent References:
JP2008311174A2008-12-25
JP2011119084A2011-06-16
JP2011008998A2011-01-13
JP2008311174A2008-12-25
JP2011119084A2011-06-16
JP2011008998A2011-01-13
JPH03156846A1991-07-04
JPS6162344U1986-04-26
JP2011258470A2011-12-22
JPH03156846A1991-07-04
JPS6162344U1986-04-26
JP2011258470A2011-12-22
Foreign References:
WO2010013772A12010-02-04
WO2010013772A12010-02-04
WO2003080180A12003-10-02
WO2003080180A12003-10-02
Attorney, Agent or Firm:
Hiromichi Kobayashi
Tomioka Kiyoshi
Uzawa Hidehisa



 
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