Title:
抽出グリッド
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023552297
Kind Code:
A
Abstract:
プラズマからイオン及び／又は電子を抽出するための装置は、グリッド（１）と、グリッドホルダ（２）と、を有し、グリッドホルダの周囲にグリッド（１）が固定されている。本発明によれば、グリッド（１）は、エキスパンドメタルグリッドとして構成されている。本発明は更に、プラズマ源、プラズマコーティング装置、及び干渉層又は干渉層システムを製造するための方法も提供する。【選択図】図２ａ
Inventors:
Lois, Holger
Reppin, Daniel
Muller, Dirk
Liu, Simon
Hagedorn, Haro
Reppin, Daniel
Muller, Dirk
Liu, Simon
Hagedorn, Haro
Application Number:
JP2023530310A
Publication Date:
December 15, 2023
Filing Date:
November 19, 2021
Export Citation:
Assignee:
Buehler Alzenau GmbH
International Classes:
C23C16/50; C23C14/24; C23C14/34; H05H1/46
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation NIP&SBPJ International Patent Office