Title:
研削装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024016941
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】排気手段の排気量を低減して経済性に優れた研削装置を提供する。【解決手段】チャックテーブル６と、ウエーハＷを着脱する着脱領域Ａとウエーハを研削する研削領域Ｂとにチャックテーブル６を移動する移動手段５５と、研削領域Ｂに配設されウエーハＷに研削水を供給しながら研削する研削ホイール３３と、研削ホイール３３とチャックテーブル６とを覆う加工室８０と、加工室８０内のミストＭを吸引して排気する吸引ダクト７２を含み、チャックテーブル６は、ウエーハＷを吸引保持する保持面６２を有する円板状のテーブル本体６３と、テーブル本体６３を回転する回転体５６と、保持面６２を露出させテーブル本体６３を囲繞する開口部５ａを有するターンテーブル５と、を備え、テーブル本体６３の外周には、開口部５ａとテーブル本体６３との隙間からミストＭを吸引する負圧を生成するファン６４が配設されている。【選択図】図２
Inventors:
Shungo Yoshii
Application Number:
JP2022119250A
Publication Date:
February 08, 2024
Filing Date:
July 27, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
H01L21/304; B24B7/00; B24B55/06; B24B57/02
Attorney, Agent or Firm:
Sachiko Okunuki
Tsuyoshi Tsukano
Yoshifumi Kaneko
Tsuyoshi Tsukano
Yoshifumi Kaneko
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