Title:
研削装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024027610
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】研削砥石のコンディションに応じた研削が可能な研削装置を提供する。【解決手段】被加工物を研削する研削装置であって、被加工物を保持するチャックテーブルと、先端部に研削ホイールが装着されるスピンドルを有する研削ユニットと、コントローラーと、被加工物及び研削ホイールに研削液を供給する研削液供給ユニットと、被加工物が研削ホイールによって研削される際の研削負荷を測定する研削負荷測定ユニットと、を備え、コントローラーは、研削負荷測定ユニットによって測定された研削負荷に基づいて、研削液供給ユニットから供給される研削液の温度を調節する。【選択図】図３
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Inventors:
Yuu Nagami
Application Number:
JP2022130536A
Publication Date:
March 01, 2024
Filing Date:
August 18, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B24B49/16; B23Q11/10; B23Q17/09; B24B7/04; B24B41/06; B24B49/14; B24B55/02; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Akira Matsumoto
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato
Tomohiro Okamoto
Takahiro Kasahara
Hideaki Okamoto
Takayuki Okano
Toshikazu Imato