Title:
研削装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024046448
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】節水を図りつつ、コンタクト軸への研削屑の付着を確実に防ぐことができる研削装置を提供すること。【解決手段】研削装置１が備えるリニアゲージ３１は、コンタクト軸３８と、該コンタクト軸３８を鉛直方向に昇降可能に支持するエアベアリング３７と、自重で降下したコンタクト軸３８の高さ位置を検知する検知部４０と、コンタクト軸３８を上昇させる上昇機構３９と、ケース３６から突出するコンタクト軸３８の側面に水膜を形成する水膜形成ノズル４３１と、該水膜形成ノズル４３１に供給する水の水量を調整する絞り弁（水量調整部）４７とを備え、制御部９０は、ウェーハＷが予め設定した仕上げ厚みに研削されるまでは該水膜形成ノズル４３１に供給する水の水量を少量の第１流量に設定し、ウェーハＷが仕上げ厚みに研削されると該水膜形成ノズル４３１に供給する水の水量を第１流量よりも多い第２流量に増量する。【選択図】図３
Inventors:
Dai Saito
Ken Nagai
Ken Nagai
Application Number:
JP2022151847A
Publication Date:
April 03, 2024
Filing Date:
September 22, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B24B55/06; B24B7/04; B24B49/04; B24B49/10; G01B5/02; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Tokyo Alpa Patent Office