Title:
光処理装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024025847
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】チャンバ内のオゾン濃度を低下させても安定して均質に処理できる光処理装置を提供する。【解決手段】ワークＷ１を搬送する、複数の搬送ローラ５ａを有する搬送機構５と、第一搬入口２ａと、第一搬出口２ｂとを有するメインチャンバ２と、メインチャンバ内において、ワークの搬送方向と、搬送ローラの回転軸方向とに直交する方向に関し、複数の搬送ローラの間の少なくとも一部を、処理空間と、滞留空間とに区画する仕切部材２ｐと、メインチャンバの処理空間内に配置され、搬送機構に沿って搬送されるワークの一面に向かって、主たる発光波長が２００ｎｍ以下の紫外光を出射する紫外光源と、メインチャンバ内にプロセスガスＧ１を導入するガス導入口２１ａと、第二搬入口３ａと、第二搬出口３ｂとを有し、第二搬出口３ｂが第一搬入口２ａに連絡された搬入サブチャンバ３とを備え、搬送ローラは、少なくとも一部が、仕切部材よりも処理空間側に位置する。【選択図】図１
Inventors:
Akihiro Shimizu
Keita Yoshihara
Fumitoshi Takemoto
Kenji Yamamori
Keita Yoshihara
Fumitoshi Takemoto
Kenji Yamamori
Application Number:
JP2022129153A
Publication Date:
February 28, 2024
Filing Date:
August 15, 2022
Export Citation:
Assignee:
Ushio, Inc.
International Classes:
H01L21/027; C08J7/00
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation Junias International Patent Office
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