Title:
メタルマスクとその製造方法、およびその使用方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP7158089
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】微細部品と大型部品を同一基板上に同時に実装することができ、高い印刷精度を有するメタルマスクとその製造方法、およびその使用方法を提供する。【解決手段】金属シート１１の面内に、微細印刷に供する微細印刷領域と、前記微細印刷領域より段差状に厚く設定されている、１個または複数の段差構造１３と、を備え、微細印刷領域には微細部品用の印刷用開口１２ａが、段差構造には大型部品用の印刷用開口１２ｂが形成されているメタルマスク１であり、段差構造１３は、その断面において金属シート１１の厚さがなめらかに変化しており、エッジ部には、曲率半径が５００μｍ以上のＲ形状が形成されている。【選択図】図１
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Inventors:
Takahisa Haraguchi
Fujii Masafumi
Fujii Masafumi
Application Number:
JP2022079217A
Publication Date:
October 21, 2022
Filing Date:
May 13, 2022
Export Citation:
Assignee:
Process Lab Micron Co., Ltd.
International Classes:
B41N1/24; B41C1/14; B41M1/12; H05K3/34
Domestic Patent References:
| JPH0313393A | 1991-01-22 | |||
| JP2015066693A | 2015-04-13 | |||
| JP2020199668A | 2020-12-17 |
Foreign References:
| KR100771278B1 | 2007-10-29 |
Attorney, Agent or Firm:
Baba Shiho
Karakama Mutsumi
Karakama Mutsumi
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