Title:
マスクブランクス用ガラス基板の製造方法、マスクブランクスの製造方法、露光用マスクの製造方法、反射型マスクブランクスの製造方法、及び反射型マスクの製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP4792146
Kind Code:
B2
Inventors:
Junji Miyagaki
Masaru Tanabe
Koike Konasahiro
Masaru Tanabe
Koike Konasahiro
Application Number:
JP2005048929A
Publication Date:
October 12, 2011
Filing Date:
February 24, 2005
Export Citation:
Assignee:
HOYA CORPORATION
International Classes:
B24B37/00; C03C19/00; G03F1/24; G03F1/26; G03F1/68; H01L21/027
Domestic Patent References:
| JP2004054285A | ||||
| JP2004029735A | ||||
| JP2002046065A | ||||
| JP2002131889A | ||||
| JP8216023A | ||||
| JP2003128910A | ||||
| JP2003205460A | ||||
| JP2004525409A | ||||
| JP2003243676A | ||||
| JP64040267A |
Attorney, Agent or Firm:
Takeshi Otsuka