Title:
構造体の製造方法、カラーフィルタの製造方法、固体撮像素子の製造方法および画像表示装置の製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2020179648
Kind Code:
A1
Abstract:
隔壁で区画された複数の領域が設けられた支持体上に着色感光性組成物を塗布して隔壁で区画された領域内を含む支持体上に着色感光性組成物層を形成する工程と、支持体上に形成された着色感光性組成物層をパターン状に露光する工程と、現像液を用いて未露光部の着色感光性組成物層を現像除去して隔壁で区画された領域内に画素を形成する工程と、を含む構造体の製造方法であって、現像液として、アルカリ剤を０．０２〜０．２２質量％と、キレート剤とを含むアルカリ水溶液を用いる構造体の製造方法。前述の構造体の製造方法を含むカラーフィルタの製造方法、固体撮像素子の製造方法および画像表示装置の製造方法。
Inventors:
Takanori Taguchi
Application Number:
JP2021504038A
Publication Date:
December 09, 2021
Filing Date:
February 28, 2020
Export Citation:
Assignee:
FUJIFILM Corporation
International Classes:
G03F7/32; G02B5/20; G03F7/027; G03F7/038; G09F9/00; G09F9/30
Domestic Patent References:
| JP2001312072A | 2001-11-09 |
Attorney, Agent or Firm:
Patent Service Corporation Patent Office Sykes