Title:
A microwave processing system and a substrate treating method
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6225243
Kind Code:
B2
Inventors:
Zao, Jumpin
Chen, Lee
Funk, merit
Toshihiko Iwao
Wentseck, Peter, Elsey
Chen, Lee
Funk, merit
Toshihiko Iwao
Wentseck, Peter, Elsey
Application Number:
JP2016500225A
Publication Date:
November 01, 2017
Filing Date:
February 10, 2014
Export Citation:
Assignee:
東京エレクトロン株式会社
トーキョー エレクトロン ユーエス ホールディングス，インコーポレーテッド
トーキョー エレクトロン ユーエス ホールディングス，インコーポレーテッド
International Classes:
H05H1/46; H01L21/3065
Domestic Patent References:
| JP2005082849A | ||||
| JP2004055614A | ||||
| JP2006114676A | ||||
| JP2003188103A |
Foreign References:
| WO2008032856A1 | ||||
| US5387288 |
Attorney, Agent or Firm:
Tadashige Ito
Tadahiko Ito
Shinsuke Onuki
Tadahiko Ito
Shinsuke Onuki