Title:
新規なハフニウム含有化合物、これを含有するハフニウム前駆体組成物、前記ハフニウム前駆体組成物を用いたハフニウム含有薄膜及びその製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024519132
Kind Code:
A
Abstract:
本発明は、様々なハフニウム含有薄膜の形成に使用できるハフニウム含有前駆体に関するもので、前記ハフニウム含有前駆体は、常温で液体であり、高い揮発性と高い熱的安定性を示すので、高品質のハフニウム含有薄膜及びその製造方法に使用できる。【選択図】図６
Inventors:
Kim Hyun-chan
Shin Hyun Soo
Lee Duhong
Kwon Chul Hee
Shin Hyun Soo
Lee Duhong
Kwon Chul Hee
Application Number:
JP2023572511A
Publication Date:
May 08, 2024
Filing Date:
May 11, 2022
Export Citation:
Assignee:
ICHEMS CO.,LTD.
International Classes:
C07F17/00; H01L21/31; H01L21/316
Attorney, Agent or Firm:
Katsumi Iseki
Shuhei Kaneko
Sakie Tanaka
Yasushi Hayakawa
Naoki Takeuchi
Tomoaki Arikawa
Kenichi Terazono
Asako Yoneguchi
Kako Fujino
Shuhei Kaneko
Sakie Tanaka
Yasushi Hayakawa
Naoki Takeuchi
Tomoaki Arikawa
Kenichi Terazono
Asako Yoneguchi
Kako Fujino