Title:
光学変位センサ
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2023552858
Kind Code:
A
Abstract:
光学変位センサ（２）は、反射面（４）と、反射面とともに、各々、干渉配置を規定する１つ以上の回折格子（６）と、を備える。反射面（４）は、回折格子（６）に対して移動可能であるか、又はその逆である。光源（８）からの光は、干渉配置を介して伝搬し、各組の光検出器（１０）で干渉パターンを生じる。各干渉パターンは、反射面（４）と各格子（６）との間の分離に応じて決まる。コリメート光学配置（１４）は、光源（８）と回折格子（６）との間で光を少なくとも部分的にコリメートする。干渉配置又は各干渉配置について、反射面（４）又は回折格子（６）がゼロ変位位置にあるとき、回折格子（６）と反射面（４）との間を伝搬する光の光学経路長Ｌは、以下の関係をｊの２０％以内まで満たし、ｎは整数であり、Ｔｚは以下のように規定されるタルボット長であり、式中、λは光の波長であり、ｐは各回折格子（６）の格子周期である。代替的に、Ｌはｐの２０％以内まで満たし、式中、ｍは奇数の整数である。追加的に又は代替的に、光学変位センサ（３４、１１２）は、２つ以上の回折格子（４４、４６、１１６）を備えてもよく、ビーム分離配置（４８、１２６）又は複数の光源要素を使用して、各格子（４４、４６、１１６）に各分離した光ビーム（６２、６４、１３２）を提供するように構成されてもよい。【選択図】図１
Inventors:
Sagberg, Hokon
Lacole, Mathieu
Lacole, Mathieu
Application Number:
JP2023535812A
Publication Date:
December 19, 2023
Filing Date:
December 14, 2021
Export Citation:
Assignee:
Sensibel Actiesel Turnip
International Classes:
H04R23/00; G01D5/26
Attorney, Agent or Firm:
Ariko Patent Office