Title:
The piping system parts which prevent adhesion deposition of the exhaust air thing to a piping system
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6197132
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】本発明は、配管系への排気物の付着堆積を防止する配管系部品に関する。【解決手段】真空反応処理装置から送り込まれる排気流体に露出される配管系に対する排気物の付着堆積を防止する配管系部品において、外径Ф２の円筒状螺旋管式金属パイプは、中空部の端部と両端にそれぞれ貫通孔とフランジ部を有する内径φ１、長さＬ１の継手配管の内周壁から一定の間隔ほど離隔した内通体であって、前記中空部内における前記螺旋管式金属パイプの一端を、前記貫通孔に挿入したコネクタ本体、フェルール、ナットを用いて、前記継手配管に支持固定し、前記コネクタ本体を介して繋いだ前記螺旋管式金属パイプの一端を、前記継手配管の外周面に設けられた電源連結部端子に接続させ、前記螺旋管式金属パイプの他端は、前記中空部を介して前記継手配管の同軸の長手方向に沿って外部まで延在する同軸長さＬ２の最端に位置することを特徴とする。【選択図】図５
Inventors:
Chobu Kryon
Kim ginam
John Dokbu
Kim ginam
John Dokbu
Application Number:
JP2017013331A
Publication Date:
September 13, 2017
Filing Date:
January 27, 2017
Export Citation:
Assignee:
MI Co.,Ltd.
International Classes:
H01L21/205; C23C16/44; H01L21/203; H01L21/3065
Domestic Patent References:
| JPS5968192A | 1984-04-18 | |||
| JP2016058304A | 2016-04-21 | |||
| JP2008098283A | 2008-04-24 | |||
| JPS5968192A | 1984-04-18 | |||
| JP2016058304A | 2016-04-21 | |||
| JP2008098283A | 2008-04-24 |
Foreign References:
| WO2010140207A1 | 2010-12-09 | |||
| WO2008140207A1 | 2008-11-20 |
Attorney, Agent or Firm:
Tomohiro Sakamoto
Park Ji-un
Koji Watanabe
Toshihiro Oishi
Ayumi Yada
Park Ji-un
Koji Watanabe
Toshihiro Oishi
Ayumi Yada