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Title:
プラズモニック光電陰極放出器
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2022551419
Kind Code:
A
Abstract:
光電陰極放出器100が、透明基板101と、光電陰極層103と、透明基板101と光電陰極層103との間に配設されたプラズモニック構造アレイ102とを含む。プラズモニック構造アレイ102は、193nmから430nmまでの波長において動作するように構成される。プラズモニック構造アレイ102は、アルミニウムから作製することができる。電子ビームが、光電陰極放出器100のプラズモニック構造アレイ102に向けられる光ビームから生成することができる。

Inventors:
Belousov Sergei
Naiznik Andrei
Iskandarova Inna M
Potapkin Boris
Ioaca Midi Caterina
Delgado Girdard
Hill Frances
Lopez Galii
Gonzalez Pedraza Miguel Ay
Application Number:
JP2022518945A
Publication Date:
December 09, 2022
Filing Date:
September 25, 2020
Export Citation:
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Assignee:
KLA Corporation
International Classes:
H01J9/12; H01J1/34
Attorney, Agent or Firm:
Patent Attorney Corporation YKI International Patent Office